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實(shí)踐證明深紫外光刻工藝深受多種類(lèi)微量污染物的影響，對(duì)很多微量污染物極為敏感，比如氨氣或者酸性氣體都會(huì)給半導(dǎo)體生產(chǎn)帶來(lái)危害，盡管隨著深紫外耐腐蝕材料技術(shù)的發(fā)展，已經(jīng)減少了長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，而實(shí)際上AMC空氣分析儀對(duì)空氣分子污染（AMC）的實(shí)...

傅里葉紅外分析儀由紅外燈源、光闌、干涉儀、樣品室、檢測(cè)器、各種紅外反射鏡、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。樣品室的容積應(yīng)盡可能大，應(yīng)能安裝各種小型紅外配件，如各種衰減全反射（ATR）配件、漫反射配件、鏡面反射配件等。傅里葉紅外分析常見(jiàn)的功能之一是官能團(tuán)...

光聲光譜氣體分析儀集成了高精度、高選擇性、光譜可調(diào)可控的半導(dǎo)體激光光源和寬動(dòng)態(tài)范圍的懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜技術(shù)。零背景噪聲技術(shù)提供高穩(wěn)定性，無(wú)需重復(fù)校準(zhǔn)數(shù)月。儀器工作在非諧振模式，可以使用不同的調(diào)制模式同時(shí)測(cè)量來(lái)自?xún)蓚€(gè)激光源的信號(hào)，得到的光聲光...

溶解氧分析儀計(jì)算溶解氧含量的數(shù)據(jù)效果比較好；另一個(gè)外部因素是水中植物的光合作用。測(cè)得的溶解氧含量會(huì)略有變化。溶解氧的具體含量與溫度、氣壓和鹽分含量密切相關(guān)。一般溫度越高，溶解鹽越高，水中溶解氧含量越低；氣壓越高，水中的溶解氧越高，有利于水生...

由于用途廣泛，CF4可以通過(guò)多種方式進(jìn)入土壤、水體和大氣中，形成環(huán)境污染。通過(guò)在大氣中擴(kuò)散和釋放，進(jìn)入平流層，破壞臭氧層。因此，世界上許多國(guó)家對(duì)此類(lèi)污染物對(duì)臭氧層的影響開(kāi)展了大量的研究工作，證實(shí)了臭氧層的喪失與這一系列氣體在大氣中釋放的自由...

合成氣監(jiān)控主要有三個(gè)用途：安全監(jiān)控，監(jiān)控超標(biāo)后會(huì)引起爆炸危險(xiǎn)的介質(zhì)，測(cè)量結(jié)果參與聯(lián)鎖控制，確保人員和設(shè)備的安全。過(guò)程控制，監(jiān)控過(guò)程生產(chǎn)狀態(tài)是否正常，以保證產(chǎn)品的質(zhì)量。環(huán)保監(jiān)測(cè)：監(jiān)測(cè)排放到環(huán)境中的廢氣中能污染大氣的成分是否超標(biāo)，控制生產(chǎn)過(guò)程中...